TEM金属薄膜样品的制备方法
发布日期：2012-07-23
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（1）用线切割机将样品切割成0.5~1mm薄片。 （2）用水砂纸由粗到细（一般最细到1000#砂纸）将试样的两面磨光、磨薄，厚度50μm左右。此步骤也可用化学方法减薄。 （3）用冲孔机等将薄片剪成φ3mm的小圆片，剪掉并磨平圆片边缘的毛边。 （4）用双喷电解抛光仪将样品减薄并穿孔。 为防止样品氧化，电解也要冷却至-20℃左右。电解液、电流、电压根据试样的具体情况选定。最佳状态制成的薄膜样品表面平滑、光亮。
