【作者】：何光宏 ，张志津2，彭光含3，白海会1，杨学恒1

       【单位】：1重庆大学数理学院，重庆 400044；2 天津商学院，天津 300134；3 湖南文理学院物电系，湖南 常德 415000

       【摘要】：

        原子力显微镜由于不受物质导电性的限制，已经成为纳米检测和加工的重要手段之一。本文介绍了根据隧道效应检测原子力显微镜微悬臂位移的原理自制的原子力显微镜的系统组成，重点讲述了镜体结构及特点，测试结果表明该仪器具有原子量级的分辨率。最后还给出了用该原子力显微镜检测到的几幅效果很好的物体的三维表面形貌图。